双激光沉积制备的钨掺杂类金刚石薄膜的摩擦学与粘附性能

摘要： 采用纳秒和飞秒激光同步烧蚀石墨与钨靶材，在条形基底上制备出钨掺杂类金刚石薄膜，其钨浓度呈水平方向连续变化而垂直方向恒定。该掺杂薄膜中钨含量随靠近飞秒激光产生的钨等离子体中心轴线逐渐升高。钨掺杂类金刚石薄膜的表面粗糙度与临界载荷随钨含量增加而增大，而摩擦系数则先降后升——当钨含量约8.07 at.%时达到最小值0.086。本实验设计的沉积方法亦可应用于功能薄膜领域其他掺杂薄膜的制备。