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基于电子束蒸镀ZnO、MgZnO和CdZnO薄膜的CO气体传感器：一项对比研究
摘要： 本文报道了一种基于电子束蒸镀ZnO、MgZnO和CdZnO薄膜的气体传感器的对比研究。在室温（RT）条件下，这些半导体薄膜沉积于Si/SiO2衬底上，并在其表面制备了铬电极的叉指图案。研究报道并分析了器件的结构、光学及电学等性能参数。传感器在不同工作温度下进行了测试，在250℃时CdZnO薄膜传感器表现出最佳响应特性。对于100PPM一氧化碳（CO）气体浓度，CdZnO薄膜传感器获得了4.86的响应值及15秒的响应时间?；谑笛榻峁⑾?，在用作CO气体传感器时，掺镉氧化锌（Cd-doped ZnO）是这些半导体金属氧化物中最适合的材料。同时建立了薄膜结构、光学与电学性能之间的关联性。
关键词： 薄膜、氧化锌、镁锌氧、一氧化碳气体传感器、镉锌氧、电子束蒸发
更新于2025-09-23 15:23:52
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岩盐相CdZnO作为透明导电氧化物
摘要： 透明导电氧化物（TCOs）广泛应用于太阳能电池到发光二极管等领域。本研究证明，金属有机化学气相沉积（MOCVD）法生长的岩盐结构CdZnO三元化合物具有优异的TCO应用潜力。通过红外反射光谱、紫外-可见吸收光谱与霍尔效应联用，我们测定了该化合物的光学和电学输运特性。研究发现：掺杂锌元素可提升电子浓度与迁移率，使电阻率低于纯CdO——当锌含量为10%时，最小电阻率达1.96×10?? Ω·cm。此外，由于带隙能量增大与能带填充效应的共同作用，其吸收边能量从CdO的2.58 eV提升至15%锌含量的2.89 eV，显著增强了可见光区透光性。该三元合金TCO材料不仅生长温度要求低，且CVD沉积工艺具备良好扩展性，为其在外部器件集成应用奠定了坚实基础。
关键词： 霍尔效应、紫外-可见吸收、金属有机化学气相沉积、红外反射率、CdZnO（镉锌氧）、透明导电氧化物
更新于2025-09-10 09:29:36