AIP会议录 [美国物理联合会出版社第15届聚光光伏系统国际会议（CPV-15）- 摩洛哥非斯（2019年3月25-27日）] 第15届聚光光伏系统国际会议（CPV-15）- 工业PERC太阳能电池工艺链适配电镀镍/铜/银正面接触金属化技术

摘要： 本文提出了三种缩小工业钝化发射极和背面电池（PERC）太阳能电池上丝网印刷银浆与镍/铜/银电镀正面接触金属化之间效率差距的方法。第一种方法是将POCl3扩散调整为适用于电镀接触的发射极剖面（降低峰值掺杂浓度）。第二种方法是调整磷硅玻璃（PSG）的激光过掺杂（LOD）工艺，使其选择性发射极特性与激光图案化和电镀工艺相匹配。第三种方法则是改变正面激光图案化与背面铝烧结的工艺步骤顺序。这三种方法均显示出极具前景的结果：在251.99平方厘米的电池面积上，实现了超过22%的转换效率和接近680毫伏的开路电压（VOC）。总体而言，这些数值均优于采用银浆丝网印刷及烧结工艺获得的参考值。未来发展中，开路电压达到685-690毫伏、转换效率约22.5%的目标极有可能实现。