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[电气工程讲义] 传感器卷539（第四届国家传感器会议论文集，2018年2月21-23日，意大利卡塔尼亚）|| 用于监测酶促化学发光反应的便携式光电系统
摘要： 该研究展示了一种基于薄膜电子器件和全玻璃微流控网络的便携式芯片实验室系统，用于实时监测酶促化学发光反应。通过湿法刻蚀技术在1.1毫米厚的玻璃基板上制备微流控网络，随后与0.5毫米厚的玻璃基板键合。电子器件采用非晶硅p-i-n光电传感器，沉积于较薄玻璃基板的外侧。为确保电磁干扰屏蔽，将光电传感器、微流控网络及读取光电二极管电流的电子线路封装于小型金属盒（10×8×15立方厘米）内。初步测试以辣根过氧化物酶作为检测过氧化氢的模型酶，将其固定在微通道内壁。测得检测限与定量限分别为18微摩尔和60微摩尔，这些数值与文献报道的基于化学发光的光流控传感器最佳性能相当。
关键词： 非晶硅、光电传感器、酶促反应、阳极键合、辣根过氧化物酶、微流控技术
更新于2025-09-23 04:08:47
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阳极键合过程中拉入效应的建模分析方法
摘要： 吸合效应是阳极键合过程中的常见现象，而阳极键合是电容式传感器和执行器制造工艺中的关键步骤。为辅助这些换能器的设计与制造，本文提出了一种分析建模阳极键合过程中吸合效应的方法。该吸合效应模型分别通过有限元分析和验证实验进行了验证。验证结果表明，这种阳极键合过程中吸合效应的分析建模方法，无需任何额外制造工艺，就能以通用且实用的方式预测阳极键合电容式传感器和执行器的吸合电压。
关键词： 拉入效应、电容式传感器、阳极键合
更新于2025-09-04 15:30:14