用氧氮化硅壳层稳定氮化钛纳米晶体的等离激元响应：对难熔光学材料的启示

摘要： 我们探讨了难熔等离子体应用中纳米颗粒与薄膜的合成及特性。该方法聚焦于氮化钛(TiN)，其相比银、金等常见等离子体材料具有温度稳定性优势。独立式TiN基纳米颗粒通过两个串联的等离子体反应器制备：首阶段在等离子体中形核，次阶段经空气动力学牵引并包覆氮化硅?；げ?。我们系统对比了裸露与包覆TiN纳米颗粒的结构、化学及光学特性。氮化钛核心的包覆层显著抑制空气暴露下的氧化，大幅提升等离子体响应性能。采用该核壳结构制备的薄膜即使在惰性气氛中加热至900°C，反射率仍几乎无变化。本研究提出简易表面钝化方案增强材料功能性，进一步证实氮化物基等离子体材料作为宽领域应用的高品质难熔光学化合物的潜力。