[IEEE 2019年第20届国际固态传感器、执行器与微系统会议暨第33届欧洲传感器会议（TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII） - 德国柏林（2019年6月23日-27日）] 2019年第20届国际固态传感器、执行器与微系统会议暨第33届欧洲传感器会议（TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII） - 一种在封闭微腔内实现直接激光写入静电执行器元件的工艺

摘要： 首次展示了一种通过双光子聚合（2PP）技术制造并集成于封闭微腔中的静电执行器。该微腔由涂覆派瑞林-C的硼硅酸盐玻璃与硅晶圆通过晶圆键合实现封闭，其中派瑞林-C同时起到电绝缘作用。该执行器由外径260微米的独立式可移动平台构成，通过锥形弹簧支撑并实现电连接，可作为微流控阀门使用。这种创新的晶圆级制造工艺实现了：对3D结构高度达76微米的含2PP结构晶圆进行可移动部件的电连接与静电驱动，以及金属化图案的制备。此外，该工艺还能键合含有限耐温能力的金属化2PP结构的硅晶圆与硼硅酸盐玻璃晶圆，在MEMS领域具有广泛应用潜力。