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基于受控势垒的具有优异光学增益的4H-SiC紫外光电晶体管
摘要: 本文报道了一种可见光盲4H多型碳化硅光电晶体管的实验结果,该器件能检测波长低于380纳米的紫外辐射,在光学增益方面较现有4H-SiC紫外光电晶体管技术有显著提升。电光测量显示:该器件暗电流为0.62皮安,在-0.5伏偏压下开关电流比达七个数量级,300纳米波长处光学增益高达1.14×10?,而400纳米波长处仅为2.6×10?3,证明其对可见光具有良好抑制能力。除高光学增益外,由于该晶体管结构设计使电场延伸至辐射表面,能在光生电子-空穴对复合前高效收集,相比传统4H-SiC紫外探测器对低穿透深度波长更具灵敏度。研究还探究了该探测器的工作原理,实验证明其不同于传统4H-SiC双极结型晶体管光电探测器——当光生电子-空穴对产生导致费米能级变化时,通过改变控制电流流动的势垒高度来实现光电转换。文中同时给出了与现有4H-SiC紫外光电晶体管技术的对比结果。
关键词: 4H-SiC半导体器件、光电晶体管、势垒、紫外(UV)探测器、电光特性表征
更新于2025-09-12 10:27:22