用于染料敏化太阳能电池的过滤真空电弧系统制备类金刚石碳膜的特性

摘要： 研究了基于类金刚石碳（DLC）减反射涂层（ARC）薄膜的染料敏化太阳能电池（DSSC）。提出采用DLC薄膜提升DSSC器件性能。本工作通过过滤真空电?。‵VA）法制备DLC薄膜，实验研究了不同厚度DLC薄膜的结构、光学及物理特性。所有DLC薄膜均呈现随厚度增加而更光滑均匀的表面形貌。此外，均方根表面粗糙度、摩擦系数、折射率及吸收系数均随膜厚增加而增大，同时DLC薄膜的硬度和弹性模量得到提升。这些结果与沉积过程中高能离子轰击效应导致非晶碳膜中sp3键含量增加有关。