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XXX. 计量技术研讨会 || 基于短相干干涉测量的共轴扫描式地形测量技术，用于515纳米激光材料加工
摘要： 鉴于激光微结构加工中对工艺精度的要求日益提高以及公差范围不断缩小，对激光过程的精确监控及激光结构化产品的后续质量保证需求与日俱增。为满足这一需求，本文致力于开发一种基于扫描仪的共面地形测量整体方案，通过将高精度在线测量系统集成到激光设备的现有光学系统中实现。该研究通过同一光学系统组合并实施激光加工光束与测量光束，旨在为测量数据的实时过程反馈创造条件，从而实现自适应调节的激光微结构加工过程。本文阐述了激光设备各系统组件对测量光路光学像差的影响，并针对子系统优化方案以降低像差进行研究，最终通过应用实例在激光微结构加工领域评估了作为离线测量系统的演示装置构建方案。
关键词： 同轴集成，超短脉冲激光器，激光微结构化，形貌测量，短相干干涉测量法（LCI），在线测量技术
更新于2025-09-16 10:30:52
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大轴向范围频域光学低相干干涉测量技术
摘要： 本文提出了一种新的实验装置，将频域低相干干涉测量法（FD-LCI）的测量范围从3毫米扩展至2厘米。通过增加横向扫描，FD-LCI可进一步发展为频域光学相干断层扫描技术（FD-OCT）。这种新型简易装置仅需在典型FD-LCI设置的光谱仪前附加一个额外干涉仪。该配置能克服传统技术的动态范围限制，利用附加干涉仪作为调谐系统，实现对光谱仪检测范围外样本光程差的测量。此外，这种调谐可显著减小衰减效应的影响。新系统的精度由FD-LCI与调谐微米位移器的精度叠加获得，在本实验装置中该值为20微米。
关键词： FD-LCI、干涉测量法、大轴向范围、光学相干断层扫描、FD-OCT
更新于2025-09-09 09:28:46