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1.2千伏4H-SiC OCTFET:一种具有改进高频优值的新单元拓扑结构
摘要: 首次提出并实验验证了一款额定电压1.2 kV、采用八边形单元拓扑结构的4H-SiC OCTFET器件。该器件首先通过TCAD数值仿真进行优化,随后在6英寸晶圆厂成功制备。实测电学特性表明,与常规线性单元MOSFET相比,该OCTFET的高频优值[导通电阻×栅漏电荷]提升1.4倍,高频优值[导通电阻×栅漏电容]提升2.1倍。
关键词: 碳化硅,全部,八角形,Qgd,高频优值,单元,Cgd,MOSFET,4H-SiC
更新于2025-09-23 15:23:52