1：TFT技术应用于AMOLED显示的挑战

摘要： 有源矩阵有机发光二极管（AMOLED）已广泛应用于智能手机、汽车仪表盘、智能可穿戴设备、VR/AR等中小尺寸及大尺寸显示领域。从量产角度看，AMOLED仍面临薄膜晶体管（TFT）背板需同时满足严苛且有时相互冲突的性能要求这一挑战?；诙訟MOLED显示技术发展趋势的梳理，本文系统分析了TFT性能挑战及其与产品性能问题（如寿命、云纹和残像）的关联。研究发现：减小饱和区Ids-Vds斜率有助于提升AMOLED寿命；在栅极绝缘层（GI）沉积前采用氧化性等离子体处理、进行GI退火工艺以及采用双层（SiO2/SiN）GI结构，均能有效降低氧化物层及多晶硅/GI界面的陷阱密度，从而改善短期残像问题。