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JSM-6701F 电子显微镜 光束分析

JSM-6701F 电子显微镜

分类: 光束分析

厂家: 日本电子株式会社

产地: 日本

型号: JSM-6701F

更新时间: 2025-11-10T03:26:38.000Z

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高分辨率 自动化 材料科学 纳米技术 场发射 扫描电子显微镜 多层薄膜

JSM-6701F是一款高分辨率场发射扫描电子显微镜,适用于观察多层薄膜和纳米颗粒等精细结构,采用纳米技术制造。

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概述

JSM-6701F是一款高分辨率场发射扫描电子显微镜,适用于观察多层薄膜和纳米颗粒等精细结构,采用纳米技术制造。

参数

  • 分辨率 / Resolution : 1.0nm (15kV), 2.2nm (1kV)
  • 电子枪 / Electron Gun : 冷场发射电子枪 (Cold field emission gun)
  • 加速电压 / Accelerating Voltage : 0.5kV至30kV
  • 放大倍数 / Magnification : ×25至×650,000
  • 探针电流 / Probe Current : 10^-13A至2×10^-9A
  • 成像方式 / Imaging Modes : 电磁成像 (Electro magnetic)
  • 物镜透镜 / Objective Lens : 低色差物镜 (Low-aberration objective lens)
  • 物镜光圈尺寸 / Objective Lens Aperture : 固定 (Fixed)
  • 样品室 / Specimen Chamber : 适用于直径200mm的样品 (For 200mm diameter specimen)
  • 样品交换室 / Exchange Chamber : 适用于直径150mm或200mm的样品 (For 150mm or 200mm specimen)
  • 样品台 / Specimen Stage : 偏心样品台 (Eccentric type IIA)
  • 样品台尺寸 / Specimen Stage Size : X-Y: 70×50mm, Rotation: 360°, WD: 1.5至25mm, Tilt: -5°至+60°
  • 电机控制 / Motor Control : 3轴 (X,Y,R) (T,Z: 可选)
  • 控制软件 / Control Software : 连续移动 (链接到放大倍率), 偏心旋转, 样品台导航, 点击中心, 步进移动
  • 位置记忆 / Position Memory : 提供 (Provided)
  • 样品台图形 / Stage Graphic : 提供 (Provided)
  • 操作系统 / OS : Windows XP
  • 计算机 / Computer : IBM PC/AT兼容, RAM 256MB或更高
  • 监控 / Monitor : 17英寸LCD
  • 实时图像分辨率 / Live Image Resolution : 1280×1024像素
  • 存储图像分辨率 / Stored Image Resolution : 1280×1024, 2560×2048像素
  • 手动控制 / Manual Knobs : 提供 (Provided)
  • 存储图像显示 / Stored Image Display : 提供 (Provided)
  • 网络支持 / Network : 提供 (Provided)
  • 图像处理 / Image Process : 2分屏显示 (垂直, 水平), 伪彩色, LUT
  • 自动功能 / Auto Functions : 对焦, 曝光, 定位, 伪彩色
  • 泵 / Pump : 枪: Sputter Ion Pump 3 units, 样品: Series DP-DP system
  • 安装电源 / Installation Power : 单相, 200V AC, 50/60Hz, 6kVA, 电压波动范围±10%
  • 接地端子 / Grounding Terminal : 一个, 100Ω或更低 (One, 100Ω or less)
  • 冷却水流速 / Cooling Water Flow Rate : 2.4L/min或更高
  • 冷却水压力 / Cooling Water Pressure : 0.1至0.25MPa (表压)
  • 冷却水温度 / Cooling Water Temperature : 20±5°C
  • 干燥氮气压力 / Dry N2 Gas Pressure : 0.1至0.5MPa (表压)
  • 环境温度 / Environment Temperature : 20±5°C
  • 环境湿度 / Environment Humidity : 60%或更低
  • 静态AC磁场强度 / Static AC Magnetic Field : 0.3μT (p-p)或更低 (50/60Hz正弦波)
  • 动态AC磁场强度 / Dynamic AC Magnetic Field : 3μT (p-p)或更低 (5Hz以上正弦波)
  • 安装空间 / Floor Space : 3,000×2,800mm或更大
  • 门宽 / Door Width : 850mm或更宽

应用

1. 多层薄膜观察 2. 纳米颗粒分析 3. 高分辨率成像 4. 材料科学研究 5. 半导体分析

特征

1. 高分辨率:1nm (15kV), 2.2nm (1kV) 2. 支持大探针电流分析 3. 完全自动化的电子光学系统 4. 样品室可容纳直径达200mm的样品 5. 高稳定性偏心样品台,支持电机控制 6. 大型样品交换气锁室 7. 一键式样品交换机制 8. 1280×1024像素分辨率的大型LCD显示屏 9. 支持网络连接

图片集

JSM-6701F图1
JSM-6701F图2
JSM-6701F图3
JSM-6701F图4
JSM-6701F图5
JSM-6701F图6
JSM-6701F图7
JSM-6701F图8
JSM-6701F图9
JSM-6701F图10
JSM-6701F图11
JSM-6701F图12
JSM-6701F图13
JSM-6701F图14
JSM-6701F图15
JSM-6701F图16
JSM-6701F图17

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  • 基于激子能量转移的淬灭型三明治结构光电化学适体传感器用于蛋白质检测
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  • 光电信息材料与器件实验方案

    1. 实验设计与方法选择:采用射频磁控溅射技术在CF4/Ar气氛下,使用ZnO:Ga2O3(3 wt%)靶材在玻璃基底上沉积GFZO薄膜。通过改变基底温度(室温、100°C、200°C)分析其对结构、电学及光学性能的影响。 2. 样品与数据来源:使用康宁1737玻璃基底,制备厚度约330 nm的GFZO薄膜。 3. 实验设备与材料清单:射频磁控溅射系统(Syskey科技公司)、ZnO:Ga2O3靶材(Ultimate材料科技公司)、CF4和Ar气体(纯度99.999%)、X射线衍射仪(帕纳科)、场发射扫描电镜(JEOL JSM-6700)、霍尔测量系统(Ecopia HMS-300)、紫外/可见/近红外分光光度计(赛默飞Evolution 220)。 4. 实验流程与操作步骤:固定射频功率(100 W)、本底/工作压强(6.67×10^-4 Pa/6.67×10^-1 Pa)、CF4/Ar流量比(0.2%)进行沉积。沉积后通过XRD、FE-SEM、霍尔测量及分光光度法分析薄膜。 5. 数据分析方法:通过XRD图谱及谢乐公式分析结构与晶粒尺寸;采用范德堡法测量电学性能;通过透射光谱及(αhv)^2与hv关系曲线计算光学带隙。

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厂家介绍

1949 年创立,全球主要电子显微镜、质谱仪、NMR 及半导体检测设备制造商,在 60 余国设有服务网络

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图片 名称 分类 制造商 参数 描述
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