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TXRF 3760 X射线荧光光谱仪 光谱分析仪

TXRF 3760 X射线荧光光谱仪

分类： 光谱分析仪

厂家： 理学株式会社

产地： 日本

型号： TXRF 3760

更新时间： 2025-11-14T06:01:05.000Z

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高灵敏度 光谱仪 晶圆污染分析 半导体制造 化合物半导体 紧凑设计

简介：

TXRF 3760是一款高灵敏度的全反射X射线荧光光谱仪，专为200mm及以下尺寸的晶圆设计，采用高功率旋转阳极X射线源，具有紧凑的设计和高可靠性。

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概述

TXRF 3760是一款高灵敏度的全反射X射线荧光光谱仪，专为200mm及以下尺寸的晶圆设计，采用高功率旋转阳极X射线源，具有紧凑的设计和高可靠性。

参数

  • 供电 / Power Supply : 3 phase, AC 200V, 50/60Hz, 100A
  • 接地电阻 / Earth Grounding Resistance : ≤30Ω
  • X射线源冷却水 / Cooling Water (Tap Water) For X-Ray Source : 25L/min, 0.2-0.5MPa, 18-25°C
  • 干泵冷却水 / Cooling Water (Tap Water) For Dry Pump : 根据泵规格
  • 高纯氮气压力 / N2 Gas (High Purity) : 20L/min, 0.03-0.05MPa, ≤30°C
  • 干泵氮气压力 / N2 Gas For Dry Pump : 根据泵规格
  • 压缩空气压力 / Compressed Air (CDA) : 20L/min, 0.5-0.6MPa, ≤30°C
  • 在线分析程序 / Online Analysis Program (Option) : SECS/GEM
  • 环境条件 / Environment : Room temperature 18-27°C, Humidity ≤75%RH
  • 占地面积 / Compact Footprint : 1000(W)×948(D)mm

应用

1. 半导体制造中的晶圆表面污染分析 2. SiC功率器件的污染监测 3. 化合物半导体（如GaN、蓝宝石晶圆）的污染分析

特征

1. 高灵敏度检测 2. 快速测量和高通量 3. 紧凑设计，节省空间 4. 液氮免维护探测器系统 5. 高功率旋转阳极X射线源 6. 自动化操作和易于维护

图片集

TXRF 3760图1
TXRF 3760图2
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TXRF 3760图4
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TXRF 3760图15
TXRF 3760图16

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厂家介绍

1951 年创立，全球 X 射线分析技术龙头，产品涵盖 XRD、XRF、CT、半导体量测及手持式检测仪器；

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图片 名称 分类 制造商 参数 描述
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    ZEISS Sigma 300 with RISE是一款集成了拉曼成像和扫描电子显微镜（SEM）的高端设备，能够实现化学和结构指纹分析，提供3D共聚焦拉曼成像功能，识别分子和晶体学信息，并将SEM成像与拉曼映射和EDS数据相关联。

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