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用于FEL应用的VLS减震光栅 衍射光学元件

用于FEL应用的VLS减震光栅

分类: 衍射光学元件

厂家: Inprentus

产地: 美国

更新时间: 2024-08-29T22:17:17.000Z

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概述

Inprentus使用纳米级接触模式光刻技术(一种金属表面的受控机械变形方法)制造用于X射线和紫外线应用的闪耀衍射光栅。该技术特别适合于X射线和UV衍射光学器件,其中特征必须以0.1度的角度精度成形,并且在几十厘米的距离上以纳米精度定位。

参数

  • 沟槽密度 / Groove Density : 5000l/mm
  • 基底材料 / Substrate Material : Metallic

图片集

用于FEL应用的VLS减震光栅图1
用于FEL应用的VLS减震光栅图2
用于FEL应用的VLS减震光栅图3
用于FEL应用的VLS减震光栅图4

规格书

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厂家介绍

Inprentus设计、制造和销售用于同步辐射设施、半导体制造和增强现实(AR)波导的衍射光栅。世界500强企业、学术机构和政府实验室将这些Inprentus衍射光栅用于各种科学和商业应用。 Inprentus由伊利诺伊大学Urbana-Champaign物理学教授Peter Abbamonte于2012年6月成立,旨在将创新的双原子显微镜划线技术商业化,这是一种通过金属表面的机械变形进行纳米级光刻的技术。 该技术是表面高精度图案化的通用方法,特别适用于x射线和EUV衍射光学,其中特征必须以0.1度角精度成形,并以纳米精度定位在数十厘米的距离上。

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