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THERMORACK 1801 机架式冷却器 散热解决方案
新品

THERMORACK 1801 机架式冷却器

分类： 散热解决方案

厂家： Solid State Cooling Systems

产地： 美国

型号： THERMORACK 1801

更新时间： 2024-08-28T08:11:18.000Z

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标签：

温度控制 半导体 机架式 等离子蚀刻 高效冷却 环保

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概述

THERMORACK 1801是一款专为等离子体蚀刻优化的机架式冷却器，具有高达1800瓦的冷却能力和±0.05°C的稳定性，以及出色的温度控制精度和能源效率，实现高效节能和精准的温度控制。

参数

  • 冷却能力 / Cooling Capacity : Up to 1800 Watts @ 20°C with 20°C
  • 工作范围 / Operating Range : 5°C to 80°C (-10°C to 80°C with N2)
  • 环境温度 / Ambient Temperature : 10°C to 40°C non-condensing
  • 冷却剂/工艺流体 / Coolant/Process Fluid : Glycol/water, Fluorinert/Galden, HFE
  • 流体接口 / Process Fluid Fittings : 1/2” Swagelok
  • 泵 / Pump : Brushless DC magnetically driven centrifugal pump (same as TR1201)
  • 水箱容量 / Tank Volume : 5.7 liter (1.5 gal) w/ 2 level sensors
  • 设施冷却水 / Facility Cooling Water : 4-11 lpm (1-3 gpm) @ 10-35°C filtered, treated recirculating facility water. pH 6.5 to 8.2
  • 设施接口 / Facility Fittings : 1/2” Swagelok
  • 电源输入 / Power Input : 200-240 VAC, 1 phase, 50/60 Hz, 11 Amps max
  • 通信接口 / Communications : Lam analog
  • 通信接口 / Communications : AMAT CHX
  • 通信接口 / Communications : AMAT analog
  • 通信接口 / Communications : TEL Unity
  • 保修 / Warranty : 2 years

应用

1.等离子体蚀刻控制；2.半导体晶圆加工。

特征

1.高达1800瓦的冷却能力；2.操作范围-10°C至80°C；3.±0.05°C的重复性；4.比压缩机式冷却器减少80%的电力消耗；5.提高晶圆间的重复性；6.适用于Lam, AMAT和Tel工具的多种接口。

详述

1.高达1800瓦的冷却能力；2.操作范围-10°C至80°C；3.±0.05°C的重复性；4.比压缩机式冷却器减少80%的电力消耗；5.提高晶圆间的重复性；6.适用于Lam, AMAT和Tel工具的多种接口。

规格书

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厂家介绍

Solid State Cooling Systems是全球公认的精密温度控制领域的领导者，适用于各种市场应用，包括:分析设备、高速激光器、医疗激光器、光学、低光CCD相机、生物医学设备、医疗设备、半导体、航空航天和国防以及其他工业应用。

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