基于三氧化钨薄膜传感器的氨气检测特性

摘要： 报道并研究了一种基于三氧化钨(WO3)薄膜的射频溅射制备氨气传感器器件。该研究器件采用极薄的WO3薄膜(约10纳米)。实验表明，该器件展现出优异的氨气传感性能：在250°C条件下对1000 ppm NH3/空气混合气体具有13.7的高响应值，极低的检测限(≤10 ppb NH3/空气，250°C)，相对较低的250°C最佳工作温度，以及宽广的传感浓度范围。此外，该器件还具有结构简单、易于制备和较低工作温度(≤250°C)等优势。因此，这种基于WO3薄膜的传感器器件在高灵敏度氨气检测应用中具有重要前景。