研究目的
研究基于三氧化钨(WO3)薄膜的传感器器件在高灵敏度氨气检测应用中的氨气传感特性。
研究成果
基于WO3薄膜的传感器器件展现出优异的氨气检测性能，包括高灵敏度响应、极低检测限以及相对较低的理想工作温度。这些优势使该器件在高灵敏度氨气传感应用中极具前景。
研究不足
该研究聚焦于基于三氧化钨(WO3)薄膜的传感器对氨气的检测特性，其局限性包括需要相对较高的工作温度（高达250°C），以及在实际应用中可能受到其他气体的干扰。
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基于三氧化钨薄膜传感器的氨气检测特性
DOI：10.1109/TED.2018.2882737
期刊：IEEE Transactions on Electron Devices
出版年份：2018
更新时间：2025-09-09 09:28:46
摘要：
报道并研究了一种基于三氧化钨(WO3)薄膜的射频溅射制备氨气传感器器件。该研究器件采用极薄的WO3薄膜(约10纳米)。实验表明，该器件展现出优异的氨气传感性能：在250°C条件下对1000 ppm NH3/空气混合气体具有13.7的高响应值，极低的检测限(≤10 ppb NH3/空气，250°C)，相对较低的250°C最佳工作温度，以及宽广的传感浓度范围。此外，该器件还具有结构简单、易于制备和较低工作温度(≤250°C)等优势。因此，这种基于WO3薄膜的传感器器件在高灵敏度氨气检测应用中具有重要前景。
作者：
Tzu-Chieh Chou，Ching-Hong Chang，Cheng Lee，Wen-Chau Liu
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