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[IEEE 2018精密电磁测量会议（CPEM 2018）- 法国巴黎（2018年7月8日至13日）] 2018精密电磁测量会议（CPEM 2018）- 国家计量院可计算电容器中锁定法布里-珀罗干涉仪的衍射修正
摘要： 本文描述了可计算电容器中位移测量的衍射修正方法。基于高斯光束传播建立了锁定干涉仪的数学模型，对目标两腔体间的相位差进行了数值分析。仿真结果表明：通过在距输出镜560毫米处主动检测激光，可获得位移修正的最小值。
关键词： 法布里-珀罗干涉仪，位移测量，可计算电容器，衍射修正
更新于2025-09-10 09:29:36
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[2018年IEEE精密电磁测量会议（CPEM 2018）- 法国巴黎（2018年7月8日至13日）] 2018年精密电磁测量会议（CPEM 2018）- 基于扫描单光子X射线干涉术的硅晶格参数测量
摘要： 本文描述了通过光学与X射线扫描干涉术相结合的方法，在长度SI单位制下测量硅晶格参数。与传统实验装置相比，单X射线光子量子拍的检测使得X射线干涉条纹能够在更高扫描速度下实现连续数据采集。蒙特卡罗模拟表明，该方案可在保持相同不确定度水平的同时将扫描长度缩短一个数量级。此扫描方法需要配备至少10kHz时钟频率的连续相位获取功能的高分辨率光学干涉仪。
关键词： X射线、位移测量、阿伏伽德罗常数、国际单位制、干涉测量法、硅晶格参数、纳米计量学
更新于2025-09-10 09:29:36
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[IEEE 2018年第19届国际电子封装技术会议(ICEPT) - 上海 (2018.8.8-2018.8.11)] 2018年第19届国际电子封装技术会议(ICEPT) - 基于LabVIEW的增量式光栅尺在线测量位移系统设计
摘要： 为满足微电子技术中精密位移反馈装置的要求，设计了一套光栅尺在线测量系统。该系统采用美国国家仪器公司的PXI机箱、图像采集卡和精密运动平台，结合LabVIEW虚拟仪器与数字图像处理技术进行位移检测。实验表明：在150毫米量程范围内，当电机速度低于1.25毫米/秒时，最大位移误差不超过0.04毫米。该系统可实时操控并在线观测调试，不仅适用于位移测量，还能应用于微电子制造领域的表面检测、封装等环节。
关键词： LabVIEW、微电子技术、数字图像、位移测量、虚拟仪器、光栅
更新于2025-09-09 09:28:46