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oe1(光电查) - 科学论文

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  • 多步与单步原位微波退火作为溶液法制备铟镓锌氧化物薄膜的低热预算技术

    摘要： 本研究探究了溶液法制备的铟镓锌氧化物（IGZO）薄膜的低热预算原位微波退火工艺，作为传统高热预算退火工艺的潜在替代方案。采用同一套微波设备连续完成溶液法IGZO薄膜的低温预烘和高温后沉积退火，从而缩短了热处理时长并降低了温度。通过对比单步/多步原位微波退火与常规退火工艺制备的IGZO薄膜晶体管（TFT）电学特性，发现单步微波退火法制备的TFT电学性能优于多步及常规退火工艺产品。此外，正/负栅极偏压应力测试表明，该热处理方法制备的IGZO TFT器件可靠性更优。通过X射线光电子能谱分析研究了热处理对IGZO薄膜成分及能带结构的影响，证实原位微波退火工艺在溶液法制备过程中比传统方法更具优势。

    关键词： 低热预算，铟镓锌氧化物，微波，溶液法

    更新于2025-09-23 15:21:21

  • 采用毫秒级闪光灯退火技术实现铁电Hf<sub>x</sub>Zr<sub>1?x</sub>O<sub>2</sub>薄膜的稳定化

    摘要： 我们报道了采用低热预算毫秒级闪光灯退火技术结晶的铁电HfxZr1?xO2（HZO）薄膜的稳定性研究。通过结合120秒375°C预加热步骤与毫秒级闪光灯脉冲，可获得与传统300秒650°C快速热退火相当的铁电特性。X射线衍射、电容电压及极化回滞分析一致表明形成了HZO的铁电相。在10纳米厚HZO层中实现了约21μC/cm2的剩余极化强度（Pr）和约1.1MV/cm的矫顽?。‥c）。该技术为低热预算条件下制备铁电HZO薄膜提供了新方案。

    关键词： 低热预算、铁电HfxZr1?xO2薄膜、剩余极化、铁电相、毫秒级闪光灯退火、矫顽场

    更新于2025-09-04 15:30:14