电子束校准中运动模糊的无监督去模糊模糊推理系统

摘要： 本文提出了一种新颖的方法，用于恢复因线性运动模糊而退化的电子束（EB）测量数据。该方法基于模糊推理系统（FIS）和维纳逆滤波器，共同提供自主性、可靠性、灵活性和实时执行能力。该系统无需精确掌握EB探针尺寸即可修复高度退化的信号。该FIS由三个输入、八条模糊规则和一个输出构成，负责监测修复结果、评估其有效性并选择评分最优的方案——这些评分通过自主分析维纳逆滤波器的结果生成。为评估系统性能，采用18微米线探针获取的基准信号与修复结果进行对比。主要目标包括：(a) 实现设备无关的EB测量无监督去模糊；(b) 提升流程可靠性；(c) 在未知探针尺寸情况下实施去模糊。这进一步促进了EB探针的部署制造及精准的探针无关EB特性表征。本研究结果也使此前采集但未记录探针尺寸的EB测量数据修复更为便捷。