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电子束校准中运动模糊的无监督去模糊模糊推理系统

DOI：10.3390/asi1040048 期刊：Applied System Innovation 出版年份：2018 更新时间：2025-09-23 15:22:29
摘要： 本文提出了一种新颖的方法，用于恢复因线性运动模糊而退化的电子束（EB）测量数据。该方法基于模糊推理系统（FIS）和维纳逆滤波器，共同提供自主性、可靠性、灵活性和实时执行能力。该系统无需精确掌握EB探针尺寸即可修复高度退化的信号。该FIS由三个输入、八条模糊规则和一个输出构成，负责监测修复结果、评估其有效性并选择评分最优的方案——这些评分通过自主分析维纳逆滤波器的结果生成。为评估系统性能，采用18微米线探针获取的基准信号与修复结果进行对比。主要目标包括：(a) 实现设备无关的EB测量无监督去模糊；(b) 提升流程可靠性；(c) 在未知探针尺寸情况下实施去模糊。这进一步促进了EB探针的部署制造及精准的探针无关EB特性表征。本研究结果也使此前采集但未记录探针尺寸的EB测量数据修复更为便捷。
作者： Salaheddin Hosseinzadeh
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研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

利用模糊推理系统和维纳逆滤波器恢复因线性运动模糊而退化的电子束测量数据，实现无需精确知晓探针尺寸的无监督去模糊处理，提升可靠性并促进与探针无关的表征。

研究成果

所提出的基于FIS的方法能有效恢复被线性运动模糊退化的EB测量数据，在无需精确探针尺寸知识的情况下实现无监督去模糊处理。该方法提升了测量可靠性并支持与探针无关的表征特性，通过互相关分析和半高宽评估验证了其准确的恢复效果。未来工作可包括自动化调参及更复杂案例的处理。

研究不足

FIS调参由专家通过启发式方法完成，可能并非最优解；采用聚类算法或自适应FIS可提升自动化程度并处理更复杂场景。该方法假设线性运动模糊，可能不适用于其他类型的图像退化情况。

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