适用于8-10微米红外波段的384×288矩阵元件光电探测器

摘要： 设计并制造了384×288元格式、间距25微米、长波灵敏度极限为0.5至约9.5微米的光敏阵列元件。根据开发的电路与拓扑结构，制作了384×288元、间距25微米的矩阵高速多路复用器，其工作模式时钟频率可达20MHz。该384×288元混合光电探测器（PD）采用25微米间距格式时，平均噪声等效温差（NETD）小于30mK，且工作元件数量超过97%。文中给出了利用微扫描系统降低图像帧缺陷像素和/或将帧格式提升至768×576的实例。研究表明：基于所开发PD的热成像通道在转换为768×576格式时，采用微扫描技术可使空间分辨率提升1.4倍（相同最小可分辨温差MRTD条件下），且0.44mrad-1频率下的MRTD从1.6K降至0.9K（相较于原始384×288格式）。