[IEEE 2018年国际趋同技术发展趋势会议（ICCTCT）- 印度科因巴托尔（2018.3.1-2018.3.3）] 2018年国际趋同技术发展趋势会议（ICCTCT）- 基于绝缘体上硅背靠背悬臂结构的差压传感器

摘要： 在我们的日常生活中，差压传感器可应用于诸多领域。这类压力传感器用于测量两个不同压力水平之间的差值。其制造过程主要采用体微加工工艺工具，因此相比传统常规传感器，此类传感器具有成本低、可靠性高的特点。该传感器主要用于比较液体上下方压力及流速，并测量节流处压力变化。差压传感器的输出随上（或）下悬臂梁压力水平的变化而改变：当底部压力值较高时，膜片向前（即向上）偏转；当底部压力值较低时，膜片向后（即向下）偏转。该设计主要应用于民用和工业领域。