研究目的
设计一种基于绝缘体上硅背靠背悬臂梁结构的差压传感器，用于测量两个不同压力水平之间的差值，适用于家用和工业应用场景。
研究成果
采用绝缘体上硅背靠背悬臂梁结构设计的差压传感器，能够高灵敏度、高线性度地测量两个不同压力水平之间的差值。通过调节悬臂梁的厚度和长宽比优化了传感器性能，使其适用于家用和工业等多种应用场景。
研究不足
该设计性能高度依赖于悬臂梁的厚度与长宽比，这可能限制其在极端压力条件下的应用。此外，制造过程需精确控制以确保传感器的可靠性与灵敏度。
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[IEEE 2018年国际趋同技术发展趋势会议（ICCTCT）- 印度科因巴托尔（2018.3.1-2018.3.3）] 2018年国际趋同技术发展趋势会议（ICCTCT）- 基于绝缘体上硅背靠背悬臂结构的差压传感器
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[IEEE 2018年国际趋同技术发展趋势会议（ICCTCT）- 印度科因巴托尔（2018.3.1-2018.3.3）] 2018年国际趋同技术发展趋势会议（ICCTCT）- 基于绝缘体上硅背靠背悬臂结构的差压传感器
DOI：10.1109/ICCTCT.2018.8551046
出版年份：2018
更新时间：2025-09-04 15:30:14
摘要：
在我们的日常生活中，差压传感器可应用于诸多领域。这类压力传感器用于测量两个不同压力水平之间的差值。其制造过程主要采用体微加工工艺工具，因此相比传统常规传感器，此类传感器具有成本低、可靠性高的特点。该传感器主要用于比较液体上下方压力及流速，并测量节流处压力变化。差压传感器的输出随上（或）下悬臂梁压力水平的变化而改变：当底部压力值较高时，膜片向前（即向上）偏转；当底部压力值较低时，膜片向后（即向下）偏转。该设计主要应用于民用和工业领域。
作者：
N. Kalaiyazhagan，T. Shanmuganantham
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