用激光束扫描硅光电倍增管

摘要： 硅光电倍增管（SiPM）是一种能探测单光子的新型半导体光探测器。它由多个以盖革模式工作的微单元（像素）构成。目前这类器件主要有两种设计：表面像素结构和深埋像素（微孔）结构。这种单元结构会降低器件的有效感光面积，即几何填充因子。在开发高像素密度的新结构时必须考虑这一因素，而高像素密度对提升动态范围至关重要。一般认为深微孔SiPM的填充因子接近1。本研究展示了通过微米级激光光斑扫描（移动）技术研究不同SiPM区域响应的方法及结果。结果表明，在检测红光（λ=632纳米）时，深微孔SiPM的几何填充因子低于100%。