低温多晶硅有源矩阵有机发光二极管制造过程中含银化合物的研究

摘要： 在本研究中，我们系统调查了低温多晶硅有源矩阵有机发光二极管（LTPS-AMOLED）阳极湿法蚀刻过程中广泛生成的含银化合物。通过充分证据提出了该化合物的形成机制并予以验证。相关测试结果表明，与传统金属化合物不同，该化合物无法通过草酸水溶液去除。此外，在高温高湿环境（85°C，85%湿度）中，所报道的含银化合物会响应电场生长迁移，导致邻近集成电路焊盘短路，引发严重的产品可靠性失效。光谱测试结果显示，存在可靠性失效的产品表现为显示亮度降低和色坐标偏移。为改善含银化合物导致的可靠性失效，本文提出了五种潜在解决方案，其中大部分方案在本研究中得以实施。