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[IEEE 2019年第16届研究质量国际会议(QIR)：电气与计算机工程国际研讨会 - 印度尼西亚巴东（2019年7月22日-24日）] 2019年第16届研究质量国际会议(QIR)：电气与计算机工程国际研讨会 - 钛热敏电阻与加热器室温太赫兹天线耦合微测辐射热计
摘要： 高探测率的室温太赫兹（THz）探测器有望应用于光谱学和成像领域，例如用于安全无损检测、建筑检测、医学和药学中的无创检查。我们研究了在具有MEMS结构的高阻硅（Si）衬底上制造的钛（Ti）热敏电阻和加热器的太赫兹天线耦合测辐射热计，以开发无需冷却的高性能传感器。本文报道了单探测器器件的设计、电磁（EM）和热模拟、制造、太赫兹波测量实验以及性能评估的研究，通过这些研究可以轻松开发大型太赫兹阵列探测器。通过研究采用细曲折线结构的Ti热敏电阻的太赫兹天线耦合测辐射热计，我们实现了优异的性能，其噪声等效功率（NEP）低至10^-11 W/Hz^1/2量级，响应频率达到5.5 kHz。
关键词： 非破坏性、太赫兹（THz）、曲折线、传感、热敏电阻、噪声等效功率（NEP）、电阻温度系数（TCR）、响应度、测辐射热计、室温、非制冷、探测器、阵列
更新于2025-09-16 10:30:52
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锗纳米晶体-金属氧化物半导体光电探测器的尺寸依赖性光响应
摘要： 本文报道了高速锗纳米晶（nc-Ge）光电探测器的尺寸依赖性光响应特性与低频噪声行为。通过将共溅射制备的Ge-SiO2薄膜在800-900℃退火，合成了不同尺寸的SiO2基nc-Ge。研究发现探测器光响应随nc-Ge尺寸增大而增强，900℃退火样品展现出最大响应度（3.5 A/W）与快速响应特性。测量表明，900℃制备的nc-Ge光电探测器具有最低噪声等效功率（NEP）和最高探测率（D*），其电流涨落低频噪声谱功率密度（SI）最优。这种尺寸可调响应度源于光吸收差异、电场驱动载流子分离及氧化物势垒隧穿效应。瞬态光响应测试显示900℃样品最佳上升时间为6.2微秒。结果表明，nc-Ge在制造工艺与热预算方面完全兼容硅技术，是高性能集成光电器件的理想候选材料。
关键词： 探测率、噪声等效功率（NEP）、响应度、噪声功率谱、锗纳米晶体（nc-Ge）
更新于2025-09-16 10:30:52