具有高透明度和UV-B防护性能的Al-Zn-O薄膜，有望应用于温室遮阳系统

摘要： 在氧气/氩气混合气体中不同氧含量比例（3%、4.5%、6%和7.5%）条件下，于熔融石英基底上沉积了极薄的Al-Zn-O复合薄膜（21±6纳米）。该薄膜采用圆柱形直流磁控溅射系统及单一复合靶材制备。通过能量色散X射线光谱、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计和原子力显微镜，研究了氧含量对薄膜成分、形貌及光学特性的影响。薄膜化学组成为Al1Z1+XO（0.2<X<1）。当溅射沉积在6%氧含量条件下进行时，获得了平均可见光透过率93.6%且具有高度均匀性的薄膜。研究发现通过提高氧含量可使薄膜光学带隙向高能方向调整，但可调范围有限。该成果提供了兼具高均匀可见光透过率与成本效益的薄膜，能有效衰减超过10%的入射UV-B辐射（280-315纳米）。此类薄膜有望应用于温室遮阳系统，在不改变自然条件的情况下有效保护植物免受增强的UV-B辐射影响。