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oe1(光电查) - 科学论文

3 条数据
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  • [2018年IEEE国际集成电路物理与失效分析研讨会(IPFA) - 新加坡(2018.7.16-2018.7.19)] 2018年IEEE国际集成电路物理与失效分析研讨会(IPFA) - 基于压电力显微镜的多层陶瓷电容器特性表征

    摘要： 材料中电学响应与力学响应之间的耦合是一种基本特性，为从传感器、执行器到能量收集和生物等众多应用提供了功能基础。大多数材料在纳米尺度的畴中表现出机电耦合。因此，要理解这些材料的结构与功能之间的关系，需要进行纳米尺度的表征。这种特性可以通过压电力显微镜（PFM）以非破坏性的方式直接测量，这是Park Systems公司所有原子力显微镜（AFM）的标准模式。此外，PFM还可作为一种光谱工具来评估压电畴的翻转。在此，我们展示了PFM在多层陶瓷电容器失效分析中的应用。通过形貌与电信号的关联成像，揭示了器件中可能直接影响器件性能的不连续结构?；乖谔囟ㄑ沟缜蚪辛斯馄撞饬?，以评估畴特性，例如翻转极化方向所需的电场（矫顽电压）。

    关键词： 地形学、原子力显微镜、多层陶瓷电容器、机电学、压电显微镜、极化、失效分析

    更新于2025-09-23 15:23:52

  • 氧化钨、氧化锡及锡掺杂氧化钨薄膜对丙酮气体的气敏性能比较研究

    摘要： 目前，多种金属氧化物薄膜被用于气体传感领域。本研究对比了四种不同金属氧化物薄膜（二氧化钨(WO?)、三氧化钨(WO?)、二氧化锡(SnO?)及锡掺杂三氧化钨(Sn掺杂WO?)）对丙酮气体的传感性能。通过让各薄膜接触不同浓度的丙酮气流并计算相应电阻变化，结合X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等表征手段及电阻变化记录的气敏特性测试，发现：经500°C退火处理的WO?与WO?、300°C退火的SnO?及400°C退火的Sn掺杂WO?均获得最佳传感晶粒尺寸；XRD图谱显示形成正交相WO?、六方相WO?和正交相SnO?，AFM与SEM清晰呈现薄膜晶界形貌。其中SnO?对丙酮气体的传感性能最优，其最佳工作温度为360°C，可检测1.5ppm极低浓度丙酮并产生30%的显著电阻响应变化。研究系统检测了1.5ppm至20ppm梯度浓度的丙酮气体并完成性能对比，测得SnO?的响应时间约3分钟，恢复时间约4分钟。

    关键词： 氧化钨、丙酮气体检测、地形学、氧化锡、金属氧化物薄膜、表面计量学、气体传感、锡掺杂氧化钨

    更新于2025-09-23 15:23:52

  • 利用个人移动激光扫描技术对河流地表沉积学与地形进行三维重建

    摘要： 本次调查对比了使用集成Velodyne Puck VLP-16传感器的徕卡Pegasus背包式个人移动激光扫描(MLS)与多站地面激光扫描(TLS)。通过独立检查点及点云对比分析表明，个人移动激光扫描的垂直误差与静态激光扫描相当?？纱┐骷す馍璧阍票湟煨缘姆治鍪迪至说乇沓粱е仆?。在徒步可达的地形区域，可穿戴激光扫描能快速获取点云数据。

    关键词： 沉积学、形态动力学、地形学、个人移动激光扫描、地面激光扫描

    更新于2025-09-11 14:15:04