氧化镓 || 溅射沉积氧化镓的特性

摘要： 近年来，宽禁带氧化物（如ZrO?、Y?O?、HfO?、La?O?、Ga?O?和GeO?）因其广泛的光学、电子与光电子、光子学及磁电子器件应用而备受关注[1-12]。其中，氧化镓（Ga?O?）凭借其独特的物理、化学及电子特性，正逐渐成为科研界关注的焦点，这些特性可广泛应用于多种技术领域。尽管前景广阔，但包括Ga?O?在内的这类宽禁带材料的特性与潜在应用尚未被充分探索——这一观点常被多个研究团队提及。