基于SOI的柔性滤波元件，具有宽带可调谐特性及全自由光谱范围调节能力

摘要： 我们展示了一种绝缘体上硅柔性滤波元件，该元件采用两个串联耦合的微环谐振器，并配备三个作为可变光耦合器的热光调谐马赫-曾德尔干涉仪。通过单电极配置实现了滤波元件的低复杂度热光控制，从而支持带宽和波长的可调谐性。通过仿真分析详细研究了该?？榈男阅埽⑼ü笛槠拦姥橹ち怂媒峁?。实现了9 GHz至103 GHz的宽频带调谐范围，功率效率为0.284 mW/GHz；同时实现了全自由光谱范围波长调谐，效率为0.297 mW/GHz。模块插入损耗低于3 dB。