研究目的
开发并展示一种基于绝缘体上硅（SOI）的柔性滤波元件，该元件具有宽带宽可调谐性和全自由光谱范围（FSR）调谐能力，适用于弹性光网络。
研究成果
所提出的基于绝缘体上硅的滤波元件实现了宽带可调谐（9 - 103 GHz）和全自由光谱范围调谐，且具有低功耗和简单控制的特点。实验结果与模拟结果高度吻合，展示了其在弹性光网络中的应用潜力。未来的工作包括降低热串扰以及优化自由光谱范围和消光比。
研究不足
在较高功率水平下观察到了热串扰效应，影响了MZI的性能。该器件可能需要对9 GHz以下更窄的带宽进行优化，并进一步减少插入损耗的变化。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用两个串联微环谐振器构建滤波元件，并以三个热光调谐马赫-曾德尔干涉仪（MZI）作为可调光耦合器。通过ASPIC仿真软件包分析相位偏移对光谱特性的影响，并通过实验验证仿真结果。
2：样本选择与数据来源：
使用AMO GmbH生产的绝缘体上硅（SOI）芯片。测量时采用掺铒光纤放大器（EDFA）提供ASE噪声输入，连续波（CW）激光源用于消光比测量。
3：实验设备与材料清单：
设备包括EDFA、光谱分析仪（OSA）、功率计、直流探针、偏振控制器、光纤阵列组件及探针台。材料包含220nm顶层硅、3μm埋氧层（BOX）的SOI晶圆、HSQ光刻胶、SiO2包层、Si3N4层以及钛铝电极。
4：实验流程与操作步骤：
在探针台上通过光纤阵列耦合对滤波元件进行表征。通过控制电极（黄色调节带宽，蓝色调节波长）实现带宽可调谐性，测量不同控制信号下的光谱响应和消光比。
5：数据分析方法：
从测得的光谱响应中计算消光比、中心波长偏移和形状因子，并与仿真结果进行对比分析。
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