多反射辅助激光多普勒测振仪设置，用于高分辨率位移测量

摘要： 本文介绍了一种基于基本激光多普勒测振仪原理的高分辨率非接触式位移传感器实验设计方案。通过利用振动表面与平行放置的高反射镜之间形成的高Q值腔体内多次反射实现相位倍增，从而提升测量分辨率。研究通过直接计数干涉图"半周期"内的特征峰，实现了72纳米位移测量（误差范围±14纳米）。实验获得了位移量与反射次数之间的线性关系，该关系为测量亚纳米级位移提供了直接途径，其最终分辨率主要取决于运动源的反射率和物理尺寸。