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oe1(光电查) - 科学论文

10 条数据
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  • 在不同化学组成的铌酸锂晶体中，通过不同性质的非平衡过程形成有序缺陷结构

    摘要： 铌酸锂晶体中已形成有序缺陷结构。该现象源于不同性质的非平衡过程：光致散射、激光烧蚀以及机械应力释放过程中产生的裂纹。此类结构的形态取决于作用于晶体的作用性质与能量强度。光致散射过程中会出现具有不同折射率变化的激光诱导缺陷密度的同心区域；激光烧蚀时，由于脉冲激光辐射下的局部畴反转，在异号宏观畴中会形成微畴同心簇；机械应力致裂时，主宏观裂纹附近会产生具有分形结构的微裂纹群。因此，有序缺陷结构的出现不仅局限于激光辐射、机械应力等直接作用的局部区域，还会扩展至晶体周边一定体积范围内。

    关键词： 掺杂、激光烧蚀、铌酸锂、机械应力、缺陷结构、光折变效应

    更新于2025-11-21 11:24:58

  • 氮化硅薄膜中机械应力对等离子体增强化学气相沉积模式的依赖性

    摘要： 通过等离子体增强化学气相沉积法，利用硅烷SiH4和氨气NH3气体制备的氮化硅SiNx薄膜，在微电子及微纳机电系统中应用广泛。残余机械应力和薄膜成分是诸多应用中的重要特性。SiNx薄膜的性能（尤其是机械应力与成分）很大程度上取决于制备条件，例如反应气体流量比、气体混合物组成、等离子体发生器的功率与频率，以及沉积过程中的温度和压力。尽管该领域研究众多，但关于SiNx薄膜性能与成分对制备条件依赖性的数据仍较为匮乏。本研究探讨了反应气体流量比对采用低频等离子体、通过SiH4硅烷与NH3氨气混合气体等离子体增强化学气相沉积获得的氮化硅SiNx薄膜机械应力及成分的影响。结果表明：当SiH4与NH3气体流量比从0.016提升至0.25时，压缩机械应力降低31%，化学计量系数从1.40降至1.20，折射率从1.91升至2.08，N-H键浓度减少7.4倍，Si-H键浓度增加8.7倍，氢原子浓度降低1.5倍。这些结果可用于控制制备具有特定特性（如残余机械应力、折射率、化学计量系数及含氢键浓度）的SiNx薄膜。

    关键词： 机械应力、光学轮廓术、等离子体增强化学气相沉积氮化硅SiNx薄膜、红外傅里叶光谱学

    更新于2025-11-14 15:18:02

  • 硅晶圆宏观机械应力对室温光致发光信号的影响

    摘要： 将单面抛光和双面抛光的硅晶圆置于聚丙烯晶圆容器中，施加不同局域应力水平与持续时间的机械应力。在施加局域机械应力前后，测量了硅晶圆的室温光致发光（RTPL）光谱。即使在去除机械应力生成夹具一年后，仍测得不同应力水平区域的RTPL强度发生显著变化（最高增幅达26%）。在去除夹具后49天内，仍能检测到局域机械应力对RTPL强度变化的显著影响。而在去除夹具450天后，测得局域机械应力的RTPL特征已基本完全弛豫。研究发现，RTPL强度对硅晶圆外施宏观机械应力及残余（或记忆性）内应力极为敏感，即便在外部机械应力生成夹具移除后依然如此。

    关键词： 硅、室温光致发光、应力弛豫、机械应力

    更新于2025-09-23 15:23:52

  • [2018年IEEE国际超声研讨会(IUS) - 日本神户 (2018.10.22-2018.10.25)] 2018年IEEE国际超声研讨会(IUS) - 采用电应力诱导方法加速弯曲压电结构老化过程

    摘要： 基于AgInGaS量子点的高效能量收集器件：电学与力学方法

    关键词： 能量收集、量子点、光电子学、AgInGaS、机械应力

    更新于2025-09-23 15:22:29

  • 利用激光诱导击穿光谱评估金属表面应力

    摘要： 在本研究中，我们通过比较激光诱导击穿光谱（LIBS）与X射线衍射（XRD）测定的应力水平，评估了利用LIBS测定金属材料应力的可行性。镁（Mg）合金试样经超声喷丸产生冲击应力，不锈钢试样承受弯曲应力。各试样的参考应力采用XRD测量。通过LIBS测量确定应力分布与离子/原子谱线强度比之间的相关性。LIBS测得的超声喷丸试样从表面到内部的应力分布趋势与XRD测量结果相似，但最大可测深度存在差异。此外，LIBS测量的弯曲试样拉压应力分布趋势与XRD相近。这些结果表明，可测定金属基体应力状态与LIBS谱线强度的相关性，从而证实了LIBS用于应力测量的潜力。

    关键词： 激光诱导击穿光谱、机械应力、谱线

    更新于2025-09-23 15:19:57

  • 通过激光辅助铜膜图案化技术实现柔性可调紧凑型微带天线的开发

    摘要： 本文介绍了一种用于工业、科学和医疗（ISM）频段的可调谐紧凑型微带天线的设计与快速原型制作。采用激光加工技术作为天线制造的快速精准方法。该天线整体尺寸为65×46×0.127毫米，通过将介电常数为3.5的柔性聚酰亚胺Kapton基板夹在两层柔性铜带之间制成——分别作为辐射贴片和接地板。辐射贴片采用蜿蜒结构设计并设置三个开槽，实现在不增大天线整体尺寸的前提下（缩减87%体积），将微带天线谐振频率从2.4GHz降至900MHz。通过弯曲和拉伸测试研究了机械应力对天线性能的影响：沿x轴和y轴分别以86毫米和150毫米最小曲率半径进行压缩弯曲时，谐振频率最大增幅分别为3.1%和1.3%；沿x轴和y轴分别以79毫米和162毫米最小曲率半径进行拉伸弯曲时，谐振频率最大降幅分别为4.2%和0.3%。当沿y轴施加0.09%应变拉伸时，测得谐振频率整体下降0.9%。

    关键词： 机械应力、柔性聚酰亚胺基板、紧凑型可调天线、微带贴片天线、激光加工

    更新于2025-09-23 15:19:57

  • 氧化硅表面费米能级钉扎的机械应力依赖性

    摘要： 采用微拉曼光谱与微区X射线光电子能谱（XPS）联用技术，对静态偏转的p型硅悬臂梁进行表面映射分析，研究氧化硅(001)表面费米能级钉扎效应的机械应力依赖性。通过沿<110>晶向施加单轴压应力和拉应力，该观测结果与纳米线、纳米膜等具有大表体比应变硅纳米器件的电学特性相关。研究发现表面费米能级钉扎呈现偶应力特性，这可能与Pb0硅/氧化物界面缺陷的对称性有关。当应力达240 MPa时，压缩应力使钉扎能增加0.16 meV/MPa，而拉应力使其增加0.11 meV/MPa。基于体材料价带形变势，可估算出压缩状态下表面能带弯曲降低0.09 meV/MPa，拉伸状态下降低0.13 meV/MPa。

    关键词： 机械应力、拉曼光谱、X射线光电子能谱、表面费米能级钉扎、硅、界面缺陷

    更新于2025-09-23 06:21:20

  • 柔性基底上等离子体加热器中热流拉伸控制的研究

    摘要： 本文提出了一种简单而稳健的数值方法，能够高精度预测外应变作用下不同金纳米粒子排列产生的热效应。该物理系统通过COMSOL Multiphysics仿真平台实现数值建模，研究了静止状态及机械应力作用下，线性偏振光共振激发不同金纳米粒子排列的光热响应。通过分析消光截面变化对纳米尺度生热过程的影响，我们阐述了机械调控的金纳米粒子排列因形成局域光热热点而显著提升局部温度的特殊条件。所构建的系统有望作为光机械可调谐等离子体加热器应用于实际场景。

    关键词： COMSOL多物理场、光热效应、机械应力、等离子体加热器、金纳米颗粒

    更新于2025-09-12 10:27:22

  • 异质外延系统中的晶体生长建模

    摘要： 本文研究了生长在GaAs衬底上的金字塔结构中含InAs纳米团簇的弹性形变。迄今为止尚未成功培育出量子点(QDs)，其中一个重要原因是周期差异显著（高达7%）。理想情况下，量子点与衬底交界处的原子面应当连续衔接。由于晶格周期差异会导致交联形变和机械应力，其强度与原子面数量及金字塔基底尺寸成正比。因此当岛状结构（量子点）达到特定尺寸时，可能承受足以引发结构缺陷（位错、断裂）的机械应力。

    关键词： 机械应力、晶体生长、量子点、异质外延系统、弹性变形

    更新于2025-09-09 09:28:46

  • 利用中子光栅干涉仪和单张试样测试评估压纹相关残余应力对磁性能的影响程度

    摘要： 由于现代电机的最高转速持续提升，电工钢承受的机械负荷不断增大。磁阻电机的冲压磁障在机械设计中发挥着日益关键的作用。材料弱化与缺口效应可能导致离心力引发的局部失效。本文提出一种通过冲压电工钢叠片引入残余应力的方法——该方法既能引导磁通，又对板材造成可忽略的机械弱化。研究旨在验证这些冲压磁障的有效性：采用中子光栅干涉技术（可解析磁畴密度的局部分布）进行验证，并通过单张冲片试验全局映射冲压影响?；诔尚喂痰挠邢拊治鐾频汲龅贾虏饬看判形牟杏嘤αΨ植肌Ｎ掷氩杏嘤αΦ挠跋?，两种测量方法均以未冲压试样及去应力退火试样作为参照基准。

    关键词： 电工钢、成型、电驱动、中子光栅、生产、单片测试仪、机械应力、压花

    更新于2025-09-04 15:30:14