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[2019年IEEE第16届第四组光子学国际会议(GFP) - 新加坡,新加坡(2019年8月28日-2019年8月30日)] 2019年IEEE第16届第四组光子学国际会议(GFP) - 具有60纳米吸收范围扩展和L波段约2倍量子效率增强的锗光电探测器
摘要: 绝缘体上锗(GOI)金属-半导体-金属(MSM)光电探测器实现了吸收覆盖范围扩展60纳米,并在L波段量子效率提升约2倍。
关键词: 锗、更长波长检测、光电探测器、氮化硅应力源、与CMOS兼容
更新于2025-09-16 10:30:52
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[2019年IEEE第16届第四族光子学国际会议(GFP) - 新加坡,新加坡(2019.8.28-2019.8.30)] 2019年IEEE第16届第四族光子学国际会议(GFP) - 具有60纳米吸收范围扩展和L波段约2倍量子效率增强的锗光电探测器
摘要: 绝缘体上锗(GOI)金属-半导体-金属(MSM)光电探测器实现了吸收覆盖范围扩展60纳米,并在L波段量子效率提升约2倍。
关键词: 氮化硅应力源,与CMOS兼容,长波长检测,光电探测器,锗
更新于2025-09-12 10:27:22