基于填充聚二甲基硅氧烷薄膜的法布里-珀罗干涉仪高灵敏度液压传感器

摘要： 提出了一种高灵敏度液压传感器，该传感器由填充聚二甲基硅氧烷（PDMS）聚合物薄膜的法布里-珀罗干涉仪（FPI）构成。通过将一段空芯光纤（HCF）与输入单模光纤（SMF）端面熔接制成FPI结构，随后将PDMS注入HCF中，使其既作为光反射镜又作为检测外部压力变化的薄膜。最终形成的FPI腔长为137.8微米，PDMS薄膜厚度为33.8微米。实验结果表明，传感器波长对液压呈现线性响应，其函数关系为y = ?7.35 × 10?3x + 1536.395（x和y分别代表液压与波长），压力灵敏度高达?7.35纳米/千帕。此外，提出基于光纤布拉格光栅的温度补偿方法以消除温度影响，实验证明该方案能有效消除温度干扰并实现液压的精确测量。