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基于填充聚二甲基硅氧烷薄膜的法布里-珀罗干涉仪高灵敏度液压传感器

DOI:10.1063/1.5109379 期刊:Review of Scientific Instruments 出版年份:2019 更新时间:2025-09-12 10:27:22
摘要: 提出了一种高灵敏度液压传感器,该传感器由填充聚二甲基硅氧烷(PDMS)聚合物薄膜的法布里-珀罗干涉仪(FPI)构成。通过将一段空芯光纤(HCF)与输入单模光纤(SMF)端面熔接制成FPI结构,随后将PDMS注入HCF中,使其既作为光反射镜又作为检测外部压力变化的薄膜。最终形成的FPI腔长为137.8微米,PDMS薄膜厚度为33.8微米。实验结果表明,传感器波长对液压呈现线性响应,其函数关系为y = ?7.35 × 10?3x + 1536.395(x和y分别代表液压与波长),压力灵敏度高达?7.35纳米/千帕。此外,提出基于光纤布拉格光栅的温度补偿方法以消除温度影响,实验证明该方案能有效消除温度干扰并实现液压的精确测量。
作者: Chunliu Zhao,Leyi Hou,Juan Kang,Bangning Mao,Changyu Shen,Shangzhong Jin
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研究概述 实验方案 设备清单

研究基于填充聚二甲基硅氧烷薄膜的法布里-珀罗干涉仪高灵敏度液压传感器,实现带温度补偿的精确压力测量。

基于填充PDMS薄膜的FPI所提出的液压传感器具有高灵敏度和紧凑尺寸。采用FBG的温度补偿方法有效消除了温度影响,实现了精确的压力测量。

该制造工艺为手工制作,可能会影响传感器的一致性。由于聚二甲基硅氧烷(PDMS)的非线性形变,其灵敏度会随压力增大而降低。

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