[2019年IEEE第46届光伏专家会议(PVSC) - 美国伊利诺伊州芝加哥(2019.6.16-2019.6.21)] 2019年IEEE第46届光伏专家会议(PVSC) - 紫外臭氧清洗硅表面用于高效光伏应用的透射电子显微镜研究

摘要： 我们报道了一种可三维堆叠的1S1R无源交叉点阻变随机存储器(RRAM)。通过采用场辅助超线性阈值选择器，成功克服了交叉点RRAM集成中的漏电流难题。该选择器具有>10^7的高选择性、<5 mV/十倍频的陡峭开关斜率、可调阈值电压特性，在125°C下稳定工作且耐久性>10^11次循环。进一步实验证明：1S1R集成结构中选择器亚阈值电流<10 pA，同时提供>10^2的存储单元开/关比及循环过程中>10^6的选择性。结合自电流控制的RRAM器件，该1S1R结构可实现高密度高性能存储应用。