[2018年IEEE国际超声研讨会(IUS) - 日本神户 (2018.10.22-2018.10.25)] 2018年IEEE国际超声研讨会(IUS) - 基于铌酸锂衬底采用低声速瑞利表面波的无SH型杂散响应TC-SAW谐振器

摘要： 本文描述了低声速（LAV）瑞利型声表面波（SAW）结构中由剪切水平（SH）型SAW器件引发的伪共振行为。众所周知，在铌酸锂（LN）衬底上，SH型SAW或瑞利型SAW器件会出现在主谐振峰附近，从而对器件特性产生各种不良影响。然而这些现象在实际应用中往往不可忽略。为探究该问题的解决方案，我们通过理论与实验研究了LN衬底上低声速（LAV）瑞利型SAW结构中SH型SAW谐振的变化情况——这是一种结合高性能温度补偿（TC）SAW器件（TC-SAW）技术的新LAV-SAW结构。研究结果表明：即使改变各类参数，SH型SAW仍可近乎消除。此外，采用该新技术还能实现尺寸极小且具备温度补偿功能的SAW器件。