研究目的
研究SH型声表面波器件在LAV瑞利型声表面波结构中引发的伪谐振行为，并探索最小化其影响的方法。
研究成果
在新型LAV-SAW结构中，SH型声表面波谐振可降至几乎为零，从而实现尺寸更小且具有温度补偿功能的声表面波器件，并提升其性能。
研究不足
该论文未详细说明具体限制，但潜在方面可能包括所测试参数的范围和基材的变化。
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[2018年IEEE国际超声研讨会(IUS) - 日本神户 (2018.10.22-2018.10.25)] 2018年IEEE国际超声研讨会(IUS) - 基于铌酸锂衬底采用低声速瑞利表面波的无SH型杂散响应TC-SAW谐振器
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[2018年IEEE国际超声研讨会(IUS) - 日本神户 (2018.10.22-2018.10.25)] 2018年IEEE国际超声研讨会(IUS) - 基于铌酸锂衬底采用低声速瑞利表面波的无SH型杂散响应TC-SAW谐振器
DOI：10.1109/ULTSYM.2018.8580200
出版年份：2018
更新时间：2025-09-23 15:22:29
摘要：
本文描述了低声速（LAV）瑞利型声表面波（SAW）结构中由剪切水平（SH）型SAW器件引发的伪共振行为。众所周知，在铌酸锂（LN）衬底上，SH型SAW或瑞利型SAW器件会出现在主谐振峰附近，从而对器件特性产生各种不良影响。然而这些现象在实际应用中往往不可忽略。为探究该问题的解决方案，我们通过理论与实验研究了LN衬底上低声速（LAV）瑞利型SAW结构中SH型SAW谐振的变化情况——这是一种结合高性能温度补偿（TC）SAW器件（TC-SAW）技术的新LAV-SAW结构。研究结果表明：即使改变各类参数，SH型SAW仍可近乎消除。此外，采用该新技术还能实现尺寸极小且具备温度补偿功能的SAW器件。
作者：
R. Shimizu，H. Abe，K. Yamanouchi
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