基于i线光刻定义的高阶布拉格光栅的窄线宽分布反馈激光器

摘要： 为了获得1564纳米附近的窄线宽半导体激光器，我们采用蝶形封装设计了一种具有高阶布拉格光栅（HOBGs）的分布式布拉格反射器（DBR）激光器。该DBR激光器仅通过i线光刻技术制造，在4微米条宽上设置4.84微米的光栅周期、1.5微米的槽宽和72微米的光栅长度。未镀端面涂层的1毫米长器件在80毫安注入电流下实现了9.9毫瓦的输出功率和超过30分贝的边模抑制比（SMSR）。这些激光器展现出70千赫兹的超窄洛伦兹线宽。本文为窄线宽半导体激光器的大规模生产提供了一种简便方法。