纳米线自热效应的直流与交流特性分析

摘要： 随着器件尺寸急剧缩小，三维场效应晶体管（FET）成为实现高栅极可控性以降低漏电流的关键因素之一。但基于上述原因，包覆沟道的绝缘层会阻碍热量散发，导致晶格温度可能升至器件的临界水平。这种现象被称为自热效应（SHE），会显著劣化器件性能?；诖?，通过模拟对5纳米节点纳米线场效应晶体管（NWFET）中的SHE进行了全面研究。通过对导通电流（Ion）、热阻（Rth）、瞬态特性的分析，研究了其直流和交流特性。