《AIP会议论文集》[作者：SILICONPV 2018第八届晶体硅光伏国际会议——瑞士洛桑（2018年3月19-21日）]——理解工业级黑硅的光学特性

摘要： 工业级黑硅制绒技术因能通过金刚线切割降低多晶硅片成本，且有望通过改善光学特性提升电池效率而日益受到重视。目前金属催化化学腐蚀（MCCE）和反应离子刻蚀（RIE）两种制绒工艺已成为主流工业化应用的主要候选方案。但这两类技术产生的绒面结构差异显著，且均具有宽泛的参数调控空间，可形成不同形貌与尺寸的表面特征。绒面不仅决定太阳能电池的总反射率，还通过散射作用影响光捕获与后续吸收。本研究针对多种衬底类型上的典型MCCE与RIE绒面开展系统分析，旨在深化理解这些特定表面形貌对光学特性的影响机制，从而更好地实现与其他工艺条件的协同整合，以及光学性能与电学性能的优化平衡。