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[2019年IEEE第16届第四族光子学国际会议(GFP) - 新加坡，新加坡（2019.8.28-2019.8.30）] 2019年IEEE第16届第四族光子学国际会议(GFP) - 具有60纳米吸收范围扩展和L波段约2倍量子效率增强的锗光电探测器
摘要： 绝缘体上锗（GOI）金属-半导体-金属（MSM）光电探测器实现了吸收覆盖范围扩展60纳米，并在L波段量子效率提升约2倍。
关键词： 氮化硅应力源，与CMOS兼容，长波长检测，光电探测器，锗
更新于2025-09-12 10:27:22