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[2018年IEEE第13届纳米/微工程与分子系统国际年会（NEMS）- 新加坡，新加坡（2018.4.22-2018.4.26）] 2018年IEEE第13届纳米/微工程与分子系统国际年会（NEMS）- 采用紫外胶将LiTaO?单晶与带槽石英集成的热释电红外探测器
摘要： 通过微机电系统（MEMS）技术将LiTaO3单晶与空气隙隔热结构集成，制备出一种新型热释电红外探测器结构。该器件展现出优异的热释电特性和热学性能。结果表明，采用空气隙隔热结构的探测器其热释电性能可通过增大空气隙面积得到提升。实验证实，当空气隙面积增加时，LiTaO3块体的热时间常数分布更为均匀，从而提高了探测器的热释电性能。
关键词： 气隙、微机电系统、热释电红外探测器、隔热层、钽酸锂
更新于2025-09-23 15:22:29