研究目的
研究采用空气隙隔热结构的LiTaO3单晶新型热释电红外探测器制备与性能
研究成果
利用MEMS技术将LiTaO3与空气隙隔热结构集成，可提升热释电探测器性能——更大的空气隙区域能改善热均匀性并提高热释电效率，显示出其在先进红外探测应用中的潜力。
研究不足
该研究仅限于特定的气隙区域，可能无法涵盖所有可能的配置；气隙尺寸和材料选择的优化可进一步探索。
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[2018年IEEE第13届纳米/微工程与分子系统国际年会（NEMS）- 新加坡，新加坡（2018.4.22-2018.4.26）] 2018年IEEE第13届纳米/微工程与分子系统国际年会（NEMS）- 采用紫外胶将LiTaO?单晶与带槽石英集成的热释电红外探测器
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[2018年IEEE第13届纳米/微工程与分子系统国际年会（NEMS）- 新加坡，新加坡（2018.4.22-2018.4.26）] 2018年IEEE第13届纳米/微工程与分子系统国际年会（NEMS）- 采用紫外胶将LiTaO?单晶与带槽石英集成的热释电红外探测器
DOI：10.1109/NEMS.2018.8557034
出版年份：2018
更新时间：2025-09-23 15:22:29
摘要：
通过微机电系统（MEMS）技术将LiTaO3单晶与空气隙隔热结构集成，制备出一种新型热释电红外探测器结构。该器件展现出优异的热释电特性和热学性能。结果表明，采用空气隙隔热结构的探测器其热释电性能可通过增大空气隙面积得到提升。实验证实，当空气隙面积增加时，LiTaO3块体的热时间常数分布更为均匀，从而提高了探测器的热释电性能。
作者：
X. Sun，Y. A. Jiang，M. Q. Zhang，J. L. Wang，Y. F. Liu，C. J. Tang，Z. W. Yu
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