温度场对La₂Ti₂O₇薄膜光学性质的影响

摘要： 为研究温度场对La2Ti2O7薄膜的微观结构、光学特性及激光损伤响应的影响，采用相同电子束蒸发参数分别在硅和熔融石英基底上制备了一组薄膜。通过施加不同温度的快速热退火来模拟温度场作用，利用XPS、XRD、椭偏仪和激光损伤测试研究了La2Ti2O7薄膜的结构、光学常数及激光损伤响应。结果表明：随着温度升高，Ti4+逐渐转化为Ti3+，导致折射率升高、消光系数增大且吸收更严重；当温度超过800°C时，氧损失现象更为显著。退火薄膜密度在600-1000°C升温过程中先增后减，在800°C时达到最大值。研究发现结晶化、氧损失与致密化过程均与La2Ti2O7薄膜的激光损伤阈值相关，当温度高于900°C时薄膜激光损伤阈值急剧下降。