- 标题
- 摘要
- 关键词
- 实验方案
- 产品
-
基于倾斜亚波长超材料的零双折射硅波导
摘要: 由于该材料平台固有的高双折射特性,偏振无关的绝缘体上硅纳米线备受青睐。当前最先进的非双折射波导设计包括脊形波导和方形纳米线,但这些方案要么需要较大尺寸、多次刻蚀步骤,要么存在低制造公差或高波长依赖性的问题。本研究通过倾斜亚波长结构克服了上述所有限制,该结构能实现对所得超材料的各向异性调控。仅需300纳米(高)×550纳米(宽)的波导横截面,在亚波长结构约48°倾斜角时即可获得零双折射点。即使在±10纳米的尺寸偏差下,标称设计的双折射恶化幅度也仅为9×10?3。此外,在1550纳米中心波长周边100纳米带宽范围内,双折射始终保持在6×10?3以下。这种创新方案可轻松适配多种波导尺寸,同时保持单次刻蚀工艺。
关键词: 偏振无关性,绝缘体上硅(SOI),亚波长光栅(SWG),零双折射波导,各向异性工程
更新于2025-09-11 14:15:04
-
[2019年IEEE光子学会议(IPC) - 美国德克萨斯州圣安东尼奥市 (2019.9.29-2019.10.3)] 2019年IEEE光子学会议(IPC) - 中红外空气顶包层亚波长光栅波导
摘要: 我们首次提供了采用空气顶包层的绝缘体上硅基TM偏振亚波长光栅波导,其工作于3.35微米至3.45微米的中红外波段。仿真结果显示电场重叠率约为38%。
关键词: SWG,中红外,重叠,TM
更新于2025-09-11 14:15:04