研究目的
研究采用空气顶包层的绝缘体上硅基TM偏振亚波长光栅波导在中红外应用中通过增强电场重叠来提高检测灵敏度。
研究成果
该研究成功展示了首款用于中红外应用的绝缘体上硅空气顶包层TM偏振亚波长光栅波导，实现了约38%的高电场重叠率且传播损耗可忽略不计。这一突破有望显著提升基于吸收光谱传感器的灵敏度。
研究不足
该研究基于模拟，实际实施可能面临制造公差和材料缺陷等挑战。传感应用中的实际性能需要实验验证。
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[2019年IEEE光子学会议(IPC) - 美国德克萨斯州圣安东尼奥市 (2019.9.29-2019.10.3)] 2019年IEEE光子学会议(IPC) - 中红外空气顶包层亚波长光栅波导
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[2019年IEEE光子学会议(IPC) - 美国德克萨斯州圣安东尼奥市 (2019.9.29-2019.10.3)] 2019年IEEE光子学会议(IPC) - 中红外空气顶包层亚波长光栅波导
DOI：10.1109/IPCon.2019.8908392
出版年份：2019
更新时间：2025-09-11 14:15:04
摘要：
我们首次提供了采用空气顶包层的绝缘体上硅基TM偏振亚波长光栅波导，其工作于3.35微米至3.45微米的中红外波段。仿真结果显示电场重叠率约为38%。
作者：
Ting Li，Peiji Zhou，Yulin Wu，Shulin Tang，Yi Zou
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