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具有高透明度和UV-B防护性能的Al-Zn-O薄膜，有望应用于温室遮阳系统
摘要： 在氧气/氩气混合气体中不同氧含量比例（3%、4.5%、6%和7.5%）条件下，于熔融石英基底上沉积了极薄的Al-Zn-O复合薄膜（21±6纳米）。该薄膜采用圆柱形直流磁控溅射系统及单一复合靶材制备。通过能量色散X射线光谱、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计和原子力显微镜，研究了氧含量对薄膜成分、形貌及光学特性的影响。薄膜化学组成为Al1Z1+XO（0.2<X<1）。当溅射沉积在6%氧含量条件下进行时，获得了平均可见光透过率93.6%且具有高度均匀性的薄膜。研究发现通过提高氧含量可使薄膜光学带隙向高能方向调整，但可调范围有限。该成果提供了兼具高均匀可见光透过率与成本效益的薄膜，能有效衰减超过10%的入射UV-B辐射（280-315纳米）。此类薄膜有望应用于温室遮阳系统，在不改变自然条件的情况下有效保护植物免受增强的UV-B辐射影响。
关键词： Al-Zn-O薄膜，圆柱形直流磁控溅射，带隙调控，有效?；ぶ参锩馐躑V-B辐射
更新于2025-09-23 15:22:29
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非晶态Zn-Sn-O薄膜的表面化学与长期稳定性
摘要： 非晶（a-）氧化物是透明导电/半导体薄膜的重要类别，用作薄膜晶体管中的电极和沟道层。通过掺杂实现的非晶态成分可调性，使得薄膜的电学性能可以从导电性精细调控至半导体特性。然而这些薄膜的表面化学性质与稳定性却鲜少被研究。由于无序结构，非晶材料的表面研究总体而言较为匮乏。本研究采用掠入射X射线吸收光谱技术，探究了a-Zn-Sn-O薄膜的长期表面稳定性。我们详细描述了薄膜表面结构及其随时间演变的过程，发现局部表面结构与晶态对应物高度相似，且表面化学性质受空位、应变、成分及薄膜密度共同支配。研究表明：当薄膜具有高锌含量和低密度时，其长期稳定性存疑。
关键词： Zn-Sn-O薄膜，长期稳定性，掠入射X射线吸收光谱，表面化学，非晶氧化物
更新于2025-09-09 09:28:46